全氟橡胶是由TFE（主链）、PMVE（支链）及架桥部所构成，它不仅具有像PTFE一样优异的耐高温，耐化学腐蚀的性能（可耐1600余种化学品的腐蚀），还兼备了橡胶的弹性，其化学单体结构类似于聚四氟乙烯。普通耐介质全氟橡胶工作温度为-25℃～240℃。耐高温全氟橡胶高温可达320℃，可在300℃长期工作。

优点：
•最佳耐热特性
•优异的抗化学特性
•优异的气密性
•抗等离子体特性

缺点：
•耐低温特性较差
•原料价格较高
•生产加工难度较高

应用领域：

•全氟系列产品广泛运用于这种材料主要用于半导体,军工,航天等尖端领域。运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。